多轴惯性传感器已日益受到医疗应用市场青睐。融合多轴感测功能的惯性MEMS元件，不论尺寸、功耗、精准度与可靠性均有优异表现，可符合医疗应用领域的严苛要求，如手术导航工具等精密医疗仪器，皆已开始大量导入。

　　导航与汽车、卡车、飞机、轮船及人相关。然而，它也开始在医疗技术领域发挥重要作用，精密手术仪器和机器人即须使用导航。手术导航工具的设计要求与传统的车辆导航具有广泛的共同点，但前者也提出一些独特的挑战，如在室内使用，无法获得全球卫星定位系统（GPS）支援，因而需要更高性能。

　　本文将研究医疗导航应用的独特挑战，并探讨从感测器机制到系统特性可能的解决方案，并介绍增强感测性能的方法，如采用卡尔曼滤波等。

　　多轴MEMS传感器转化医疗资讯

　　微机电系统（MEMS）已成为大多数人每天都会碰到的成熟技术，它使汽车更安全、增强手机可用性，并能优化工具及运动设备的性能，从而提高对病人的医疗护理水准。

　　用于线性运动检测的MEMS元件通常是基于一个微加工的多晶矽表面结构，该结构形成于矽晶圆之上，通过多晶矽弹簧悬挂在晶圆的表面上，提供对加速度力的阻力。在加速度下，MEMS轴的偏转由一个差分电容测量，该差分电容由独立固定板和活动品质连接板组成。如此一来，运动使差分电容失衡，导致感测器输出的幅度与加速度成正比。

　　例如汽车因碰撞而突然急剧减速时，安全气囊感测器中的MEMS轴会产生同样的运动，使得电容失衡，最终产生讯号触发安全气囊打开。此一基本加速度计结构，根据不同的应用性能参数进行调整，并增加资料处理功能后，可以精确地指示倾斜度、速度甚至位置。另有一种技术上相关的结构是陀螺仪，它能检测旋转速率，输出形式为度/秒。 大功率电感厂家 |大电流电感工厂