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[ADI]【技术文章精华】无线传感器网络使半导体晶圆制造厂保...

时间:2021-07-11 06:22:30 点击:

本帖最后由小唏于2017-2-709:29编辑

无线传感器网络使半导体晶圆制造厂保持高效率运行

问题

对半导体晶圆制造至关重要的是细致、准确地沉积多层化学材料,以形成数千、数百万甚至在有些情况下是数10亿个晶体管,构成各种各样复杂的集成电路(IC)。

在制造这些IC的过程中,每一步都要精确计量不同的化学气体,而气体使用量差异会很大,这是由不同的工艺所决定。

在大多数情况下,这些步骤是高度自动化的。

有趣的是,尚未自动化的竟然是一个非常简单的步骤,这就是“保持气体充足供应”。

在凌力尔特公司位于美国加利福尼亚州圣何塞附近的硅谷制造厂中,用于晶圆制造的专用气罐超过175个。

这些气罐受到了密切监视,以确保不中断供气。

供气意外中断会导致价值数10万美元的晶圆报废、损失收入并使产品交付出现不可接受的延迟。

为了避免停机,技术人员每天3次手工记录工厂中每个气罐的压力。

这种手工流程容易出现人为差错,维护成本也很高。

以前使用这种手工数据记录方法是因为人们认为通信系统配线很昂贵,在工厂中使用是不现实的。

气罐在工厂中到处都是,而且大多数气罐附近都没有AC电源插座或以太网插口。

出于安全和抗震原因,用混凝土墙建造了这座工厂,因此安装新导线成本之高令人望而却步。

此外,供电及通信线路安装这种大型项目也会中断制造过程,会要求工厂停工。

图1:提高制造效率─半导体公司利用实时监视,竭力提高制造过程的效率。

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